Модуль «MEMS» расширяет возможности базовой платформы COMSOL Multiphysics®, добавляя в нее инструменты для моделирования различных микроэлектромеханических систем, сочетающих в себе любые комбинации электрических, тепловых, механических, а также гидродинамических явлений.
Области применения модуля «MEMS»:
- Прочностной анализ МЭМС-компонентов, в т.ч. с учетом геометрической нелинейности, остаточных напряжений и контактных эффектов.
- Вибрационный анализ МЭМС-компонентов, в т.ч. с учетом механического затухания, анкерных потерь, термоупругого демпфирования и потерь в тонких пленках разряженных газов.
- Расчет электростатического возбуждения кремниевых актуаторов, резонаторов и генераторов.
- Моделирование пьезоэлектрических и пьезорезистивных эффектов, в т.ч. ПАВ- и ОАВ-устройств.
- Моделирование МЭМС-датчиков давления, ускорения (акселерометров) и вращения (гироскопов).
- Тепловой и электротехнический анализ МЭМС-компонентов, микрорезисторов и термоактуаторов.
- Моделирование взаимодействия микромеханических конструкций и потоков жидкостей или газов в микронасосах и биодатчиках.